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PVD真空鍍膜技術(shù)

作者:admin 發(fā)布日期:2020-10-24 關(guān)注次數(shù): 二維碼分享
PVD真空鍍膜是在由真空中將鈦、石墨、金、水晶等金屬或非金屬、氣體等材料利用濺射、蒸發(fā)或離子鍍等技術(shù),在基材上形成薄膜的一種表面處理過(guò)程。與傳統(tǒng)化學(xué)鍍膜方法相比,PVD有很多優(yōu)點(diǎn):如對(duì)環(huán)境無(wú)污染,是綠色環(huán)保工藝;對(duì)操作者無(wú)傷害;膜層牢固、致密性好、抗腐蝕性強(qiáng),膜厚均勻。

PVD技術(shù)中經(jīng)常使用的方法主要有:蒸發(fā)鍍膜(包括電弧蒸發(fā)、電子槍蒸發(fā)、電阻絲蒸發(fā)等技術(shù))、濺射鍍膜(包括直流磁控濺射、中頻磁控濺射、射頻濺射等技術(shù)),這些方法統(tǒng)稱(chēng)物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition),簡(jiǎn)稱(chēng)為PVD。行業(yè)內(nèi)通常所說(shuō)的“IP”(ion plating)離子鍍膜,是因?yàn)樵赑VD技術(shù)中各種氣體離子和金屬離子參與成膜過(guò)程并起到重要作用,為了強(qiáng)調(diào)離子的作用,而統(tǒng)稱(chēng)為離子鍍膜。

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